大地回春，暖阳和煦，位于高新区庙岭工业园的大连华邦化学有限公司热气腾腾。车间里，工人们正在装配气体纯化器，加班成了常态，因为很多国内半导体芯片企业都急需这种设备。今年一季度，大连华邦化学完成40多台气体纯化器的生产任务，实现产值4600万元，同比增长超过100%。同时，一季度新签订合同金额4000万元，目前在手订单超过3亿元，预计今年销售收入同比增长50%以上。
大连华邦化学在国内高端气体纯化器市场占据龙头地位，拥有国际一流的技术实力，吸引了国内多家投资机构的目光。该企业正与中国电子科技集团产业基金、中芯聚源等产业投资基金洽谈融资事宜，以助力企业快速发展。目前，大连华邦化学企业估值约10亿元，计划用3年时间在北交所或创业板上市，登陆国内资本市场。
高纯度氮气、氢气、氧气等气体纯化设备，是超大规模集成电路、平面显示器和半导体器件等生产必不可少的关键配套装备。对于半导体产业来说，经纯化设备纯化后产出的电子气体犹如“血液”，参与半导体工厂很多工艺流程，其纯度直接影响光电子、微电子元器件质量、集成度等指标。此前，世界上只有美国、日本、韩国能够生产气体纯化器设备。
大连华邦化学团队的骨干成员从事气体纯化研究20多年，目睹国内半导体产业气体纯化设备领域的困境，决心改变这一状况。2013年，由6人组成的团队开始创业，从事超纯气体纯化技术、催化剂等产品研发，并研发出中国人自己的9N级气体纯化器。2021年，大连华邦化学跻身国家级专精特新“小巨人”企业行列。“我们生产的气体纯化器，最高水平的产气纯度能达到99.9999999%即9N，超出国家气体最高标准3个数量级，技术水平达到国际一流水平，产品已部分替代进口同类产品，打破了长期以来由国外进口气体纯化器垄断国内半导体行业市场的局面。”大连华邦化学相关负责人刘皖南介绍说，企业生产的高端气体纯化设备已为多项集成电路国家重点项目等进行实际配套。
近年来，我国半导体产业快速发展，生产线数量日渐增加，芯片线宽从微米级提升至纳米级，对电子气体纯度的要求越来越高，对高端气体纯化器需求不断增长。在气体纯化器方面，大连华邦化学在国内市场的占有率在60%～70%之间，连续三年市场占有率排名第一。
创新无止境。该企业依托创新平台，集合中科院大连化物所、大连理工大学、吉林大学等机构的多专业人才参与研发。“我们将在保证现有产品质量基础上，降本增效，进一步提升产品竞争力；同时瞄准‘卡脖子’关键技术，开发新产品。”刘皖南表示，大连华邦化学将继续攻关气体纯化行业共性关键技术，重点研发半导体行业用超纯氨气、二氧化碳等气体纯化设备，替代同类设备的进口，加速成为国际半导体气体纯化领域的领军企业。
